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多晶硅烘干_多晶硅干燥方法

时间:2013-07-22 17:01:43  来源:技术部  作者:易度

    多晶硅是什么
    多晶硅属于单质硅,被誉为微电子大厦的基石。多晶硅目前的应用领域有:人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等。单晶硅和多晶硅的区别主要集中在物理性质上,其中力学、热学以及光学性质,单晶硅较为明显。而多晶硅的导电性较差,远低于单晶硅。多晶硅生产工艺主要有改良西门子法与硅烷法两种。这两种常见的多晶硅生产工艺中都需要进行干燥脱水。
    多晶硅烘干
    目前用于多晶硅烘干的干燥设备主要有闪蒸干燥机、流化床干燥机以及立式卧式搅拌干燥机。由于这些传统干燥设备经过几年的实际生产,已积累了一定的干燥经验,许多干燥设备厂家也分享了较多的多晶硅干燥设备知识,本文不再累述。本文分享一种新型的用于多晶硅烘干的干燥机。该设备专利产品,目前试验生产取得了不俗的成绩。
    新型多晶硅干燥设备
    常州市易度干燥设备有限公司对多晶硅的干燥特性进行了充分的研究,对目前行业中的多晶硅干燥设备运行情况以及产品要求进行了市场调查,继而设计出用于多晶硅烘干的新型干燥设备。其结构简图如下所示:
多晶硅干燥设备结构简图
    上图为多晶硅干燥设备结构简图。其中1-送风机;2-管道;3-一级过滤装置;4-进风管道;5-二级过滤装置;6-管道;7-烘干处理槽;8-自动盖板;9-保温层;10-吹气管;11-引风管;12-调风阀;13-清洗装置;14-通风口;15-隔杆;
    目前的硅料的烘干工艺要求较高,主要是物料在进行清洗工序至表面不能附着水分,不然影响后续的生产。目前的烘干方法主要还是采用的电加热预加热空气,再由送风机推动热空气与物料接触,完成水分蒸发。一般的干燥温度在80℃以上,而正常生产的过程中,空气过滤器容易因为温度过高而自燃,有火灾的隐患。
    上图中的多晶硅干燥设备主要是从安全性出发进行设计,对传统的干燥设备进行了改造,使其具有安全、高效以及低干燥成本的忒单。整个设备的主要部件有送风机、两级过滤装置、烘干处理槽,由管道连接。特殊设计的自动盖板、保温层、吹气管等都是增加产品的干燥效率,降低能耗。设备采用双加热装置,即高压涡流送风机产生流动的热风,送风机工作产生的热量在特殊的结构下返回加热空气。吹气孔的分布位置也进行了相应调整,使得多晶硅片不同部位均能接触空气,干燥更为均匀。
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